Ташатов АК, Мустафоева НМ. Формирование Нанопленок CoSi2 На Поверхности Si При Твердофазном Осаждении. MP [Internet]. 2022 Jul. 16 [cited 2024 Dec. 20];25:149-51. Available from: https://miastoprzyszlosci.com.pl/index.php/mp/article/view/325